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日本小野LV-2100A激光干涉位移計(jì)系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:LV-2100A
產(chǎn)品品牌:日本小野ONOSOKKI
產(chǎn)品簡介: 日本小野LV-2100A激光干涉位移計(jì)系統(tǒng) 常規(guī)的振動(dòng)位移檢測集中在從加速度(m/s 2)或速度(m / s)到位移的轉(zhuǎn)換。

日本小野LV-2100A激光干涉位移計(jì)系統(tǒng)

日本小野LV-2100A激光干涉位移計(jì)系統(tǒng) 

常規(guī)的振動(dòng)位移檢測集中在從加速度(m / s 2)或速度(m / s)到位移的轉(zhuǎn)換。然而MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))或壓電元件的應(yīng)用的致動(dòng)器通常是那些表現(xiàn)為矩形的驅(qū)動(dòng)和直流偏移,在位移轉(zhuǎn)換的正確位移測量通過在現(xiàn)有的加速度傳感器的積分處理和激光多普勒振動(dòng)計(jì)這是不可能的。

激光干涉位移計(jì)LV-2100A是1兆赫處于卸載,非接觸取樣MEMS和壓電元件小和高速振動(dòng)位移,高位移分辨率0.155納米,可以直接從DC檢測。激光光斑直徑小至φ1.5μm,空間分辨率高。

數(shù)字位移輸出的分辨率范圍相關(guān)分辨率沒有降低(與模擬輸出相比)。

各種硬件和軟件組,如FFT分析儀和“Oscope / Oscope Professional時(shí)間序列分析工具”,包括可選的位移分析軟件(LV-0930),支持更有效的測量和分析。


特點(diǎn)

位移分辨率0.155 nm隨著

振動(dòng)頻率的增加,位移也會(huì)減小,因此難以用傳統(tǒng)的激光位移計(jì)進(jìn)行測量。LV-2100A可以檢測0.155 nm分辨率的位移。


高達(dá)1 MHz的高速采樣


LV-2100A通過1 MHz的高速采樣檢測振蕩位移。利用0.155nm分辨率的性能,可以檢測待測量的寬物體從一般機(jī)械振動(dòng)到MEMS和壓電元件的振蕩位移。


數(shù)據(jù)是模擬和數(shù)字輸出LV-2100A可以輸出

模擬電壓和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的檢測數(shù)據(jù)。模擬位移輸出為DC - 100 kHz,數(shù)字位移輸出通過USB 2.0高速傳輸?shù)絇C。可以立即在PC上處理數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù),而不受傳輸錯(cuò)誤和阻抗的影響。


使用CCD相機(jī)輕松檢測微小物體


通過安裝可選的視頻觀察裝置(LV-0180),LV-2100A可以在檢查激光束同軸位置的照射位置的同時(shí)工作。這樣,可以將激光地定位和照射到小部件和小部件上。通過安裝可選的物鏡(LV-0155),可以增加觀察倍率并將激光光斑縮小到φ3μm。


豐富的數(shù)據(jù)分析工具,硬性和軟性


LV-2100A可以輸出所有位移數(shù)據(jù)作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。通過使用可選的位移分析軟件(LV-0930),LV-2100A檢測到的振動(dòng)位移數(shù)據(jù)可以從疊加到大的位移到微小的位移進(jìn)行測量。還可以通過將位移數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為速度和加速度來進(jìn)行分析。此外,時(shí)間序列分析工具選項(xiàng)“Oscope 2”可以進(jìn)行各種分析,如FFT分析,速度,加速度轉(zhuǎn)換。結(jié)合FFT分析儀,我們還可以啟用豐富的多功能軟件,以數(shù)字方式處理微小位移并提取信號,直到數(shù)字處理振動(dòng)位移波形和頻率分析。


*需要位移分析軟件“LV - 0930”才能在PC上接收數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。

※Oscope 2將以CSV格式導(dǎo)入。

傳感器單元

檢測解調(diào)方法通過光學(xué)外差檢測進(jìn)行位移解調(diào)
光源He-Ne激光(波長632.8 nm)
退出燈輸出1 mW或更低(符合FDA 2的JISC 6802標(biāo)準(zhǔn))
焦距100毫米?∞
測量范圍使用反光帶(LV-0012):使用±10 mm 
角隅棱鏡:±5 m
激光光斑直徑焦距100毫米,φ20微米或更小
鏡頭部分可在可設(shè)定范圍內(nèi)任意設(shè)定手動(dòng)設(shè)定
顯示單元●干擾電平指示:10段LED條
●檢測ERROR指示:紅色LED亮
主傳感器固定孔M8×1(Helisert強(qiáng)化)
輔助固定孔M4×2(Helisert強(qiáng)化)
信號線長度3米
(電纜彎曲半徑:50毫米或更小,電纜殼體::阻燃UL認(rèn)證材料PVC黑色)
500克(不含電纜)


位移轉(zhuǎn)換單位

模擬輸出模擬輸出±10 V(輸入阻抗為100kΩ或更高)
截止頻率DC:DC至100 kHz(fc = -3 dB)
AC:0.3 Hz至100 kHz(fc = -3 dB)
線性±0.1%/ FS
模擬紋波2 mVp-p或更低
輸出阻抗50Ω(小輸入阻抗100kΩ或更高)
輸出端子BNC(二氧化碳型)
模擬位移范圍測量速度5.0米/秒(所有范圍)
范圍指示選擇范圍顯示7段LED
設(shè)定范圍范圍測量范圍模擬小分辨率數(shù)字分辨率0.1 mV±1μm0.15納米0.155nm1μm/ V.±10μm0.3納米5μm/ V.±50μm1.5納米10μm/ V.±100μm3納米100μm/ V.±1毫米30納米2毫米/ V.±20毫米618納米0.1米/伏±1.0米30微米0.5米/伏±5.0米154微米1米/ V.±10米309毫米
范圍超過顯示

紅色LED亮度超過100%

重置指示位移零重置操作·輸入時(shí)綠色LED亮起
采樣頻率模擬輸出:1 MHz固定
數(shù)字輸出:通過可變地位移分析軟件(LV-0930)
(1兆赫,500千赫,200千赫,100千赫,50千赫,20千赫,10千赫,5千赫,2千赫茲,1千赫,500赫茲,200赫茲, 100赫茲,50赫茲,20赫茲,10赫茲,5赫茲,2赫茲,1赫茲,0.5赫茲)
數(shù)字輸出USB Ver.2.0(全速)
連接器類型:迷你B型
EXT信號輸入

位移零重置信號輸入/ TRIG信號輸入
連接器類型:R03 - R5F

  • 外部復(fù)位信號:RESET操作,無電壓,觸點(diǎn)信號輸入/關(guān)閉

  • TRIG信號:TTL(+ 5V信號)*使用LV-0930時(shí)可用

引腳分配一外部復(fù)位信號輸入乙外部復(fù)位信號COM?TRIG信號輸入dTRIG信號COM?-
SYNCHRONOUS信號輸入/輸出

同步連接器(連接兩個(gè)時(shí))

  • RESET信號

  • CLK信號

  • TRIG信號


激光單元

探測器靈敏度切換滑動(dòng)開關(guān)3步切換
監(jiān)視輸出
輸出干擾電平作為電壓輸出
模擬輸出:0至10 V 
輸出阻抗:50Ω或更小
輸出端子:BNC(CO 2型)
顯示單元●干擾電平指示:20段LED條
●激光狀態(tài)指示::激光輻射時(shí)綠色LED亮起
●ERROR指示:測量錯(cuò)誤時(shí)紅色LED亮起
存儲(chǔ)傳感器可伸縮,電纜可重繞
安全鎖關(guān)閉激光光路(短路激光輻射),無電壓1a接觸輸入
使用的電源AC 100至240 V 50/60 Hz
功耗70 VA或更低
工作溫度范圍-5至+ 40°C
工作濕度范圍相對濕度為30%至80%(無結(jié)露)
儲(chǔ)存溫度范圍-10至+ 50°C
身體:12公斤(包括傳感器)
外部尺寸393(W)×222(D)×135(H)mm

符合性標(biāo)準(zhǔn)
本儀器根據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)和檢查。
“JIS C 6802(激光產(chǎn)品的輻射安全標(biāo)準(zhǔn))” 
“IEC 60825-1:2007”“FDA(CDRH)” 
“FCC(第15 B部分)”“加拿大EMI法規(guī)(ICES - 003)”


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